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外形尺寸:长 x 宽x高(单位mm)=2470mmx2000mm×2130mm(分体进场,不同配置长度会变化)
外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2870mmx2000mm×2130mm(分体进场,不同配置长度会变化)
适用场景:电子 新能源 实验室 半导体行业等各行业无尘车间
设备功能:用于Load Port,提供氮气吹扫功能,达到降湿除尘的目的
设备功能:用于控制EFEM中Particle(颗粒物)含量,还可以控制EFEM中的酸碱有机物及RH(相对湿度)
总部
北京分公司
地址:北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
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